YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-20 02:51:45 浏览:8419
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2012-11-07 |
| 实施日期： | 2013-03-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2013-03-01 |
适用范围
本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜，满足一定条件时,方可采用本方法。
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所属分类： 能源 核技术 能源 核技术综合 技术管理 能源和热传导工程 能源和热传导工程综合
基本信息
| 标准名称： | 内燃机旋装式机油滤清器 系列尺寸 |
| 中标分类： |
机械 >>
活塞式内燃机与其他动力设备 >>
润滑系统 |
| 发布部门： | 上海内燃机研究所 |
| 发布日期： | 1991-07-01 |
| 实施日期： | 1992-07-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 归口单位： | 上海内燃机研究所 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 5 页 |
| 批文号： | 机电科标[1991]1097号 |
适用范围
本标准规定了内燃机旋装式机油滤清器的主要特征尺寸。 本标准适用于中小功率内燃机用纸质滤芯旋装式机油滤清器。
前言
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引用标准
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所属分类： 机械 活塞式内燃机与其他动力设备 润滑系统
MIL-A-46146A, MILITARY SPECIFICATION: ADHESIVES-SEALANTS, SILICONE, RTV, NONCORROSIVE (FOR USE WITH SENSITIVE METALS AND EQUIPMENT) (31 MAR 1981)., This specification covers three groups of one-part, room temperature-vulcanizing, non-fuel resistant, silicone compounds which cure to durable, rubber sealants and adhesives upon contact with moisture in the air. This specification also covers primers (see 6.1.3) for use with the silicone compounds.
